20. května 2021 22:31

Společnost Trelleborg Sealing Solutions uvádí na trh čtyři nejlepší materiály na bázi FFKM určené pro nejkritičtější těsnicí aplikace polovodičového průmyslu

Společnost Trelleborg Sealing Solutions uvádí na trh čtyři nejlepší materiály třídy Isolast^® PureFab™, které byly speciálně vyvinuty pro kritické aplikace polovodičového průmyslu. S využitím těchto jedinečných perfluorelastomerových (FFKM) směsí mohou výrobci OEM (Original Equipment Manufacturer) a Fab zvýšit produkci svých výrobků a snížit poruchovost výrobních procesů. To vede ke snížení prostojů, prodloužení cyklů údržby, delší provozuschopnosti nástroje a tím také ke snížení celkových nákladů.

Výborné mechanické vlastnosti všech těsnicích polovodičových materiálů ‘Fab Four’ jsou dány nejvyšší čistotou, vysokou odolností vůči plazmě, schopností odplynění, nebo tepelnou stabilitou.

Dr. Murat Gulcur, Semiconductor Materials Development Manager společnosti Trelleborg Sealing Solutions, řekl: ,,Naslouchali jsme našim zákazníkům a řešili jsme požadavky na kritické ‚front-end‘ procesy. Následně jsme investovali značné prostředky do výzkumu a vývoje za účelem vývoje čtyř nových špičkových materiálů Isolast^® FFKM. Nové směsi si okamžitě získaly vedoucí postavení na trhu a jsou zcela v souladu s nynějšími potřebami polovodičového průmyslu a co je důležité, s rozvojovými potřebami budoucnosti”.

,,Výběr správného těsnicího materiálu pro polovodičový průmysl je obzvlášť důležitý z důvodu dosažení optimální rovnováhy mezi prodloužením životnosti těsnicího prvku a šancí na znečištění systému. Proces miniaturizace nečistot je tím více kritičtější. Dnešní procesní uzly pracují s částicemi do 5 nanometrů (nm), ale v budoucnosti to bude pouze do 3 nm – čistota je na prvním místě”.

,,Prokázání výkonnosti materiálů probíhalo 24 měsíců prostřednictvím rozsáhlého testování, včetně zkoušek na erozi plazmou nejběžnějších plynů, dále se prováděly dlouhodobé mechanické zkoušky, testy čistoty, analyzovaly se stopové kovy a schopnost odplynění”.

,,Díky výsledkům tohoto testování a jejich srovnáním s konkurenčními údaji mohou inženýři společnosti Trelleborg podpořit své zákazníky a přesně specifikovat nejúčinnější těsnicí materiál, který odpovídá procesní chemii, umístění v systému a složitosti nástroje v náročných zařízeních polovodičových výrob. Touto podporou snižujeme rizika našich zákazníků při výběru nových materiálů”.

Nové materiály Isolast^® PureFab™ jsou obzvlášť vhodné pro utěsnění kritických míst při výrobních procesech polovodičů, zejména pro plazmové procesy, včetně nanášení, leptání, spalování a odsávání popela, stejně tak pro tepelné procesy jako je například oxidace, difuze, RTP, ALD a kovové povlakování CVD.

Chris Busby, Product Line Director & Semiconductor Segment Lead společnosti Trelleborg Sealing Solutions dodal: ,,Nejde jen o samotný produkt. Společnost Trelleborg Sealing Solutions je známá svou konstrukční a technickou odborností, a tak si získala pověst ‚řešitele problémů‘ i v oblasti polovodičového průmyslu. Celosvětový vývoj se také opírá o lokální odbornou podporu mezinárodně působících originálních výrobců (OEM) a výrobců polovodičových součástek (Fab)”.

Zjistěte více o materiálech Isolast^® PureFab™ nebo nás kontaktujte a my Vám rádi pomůžeme s výběrem materiálů pro polovodičový průmysl.

Trelleborg Sealing Solutions Czech s.r.o.
Evropská 423/178, 160 00 Praha 6-Vokovice
tel.: +420 220 400 288
https://www.trelleborg.com/cs-cz/seals
tssczech@trelleborg.com